Фотодиод большой площади SXUV100 для обнаружения EUV и VUV излучения
Широкополосный фотодиод Opto Diode SXUV100 предназначен для обнаружения экстремального ультрафиолетового (EUV) и вакуумного ультрафиолетового (VUV) излучения.

Изображение широкополосного фотодиода Opto Diode SXUV100. SXUV100 от Opto Diode — это высокопроизводительный кремниевый фотодиод без окна, оптимизированный для обнаружения экстремального ультрафиолетового (EUV) и мягкого рентгеновского излучения. Благодаря большой активной площади 100 мм² этот детектор обеспечивает стабильную чувствительность в широком спектральном диапазоне от 1 нм до 200 нм, что делает его идеальным для сложных условий эксплуатации, таких как EUV-литография, диагностика синхротронных линий и мониторинг плазмы. Разработанный для точности и долговечности, SXUV100 обеспечивает высокую квантовую эффективность и низкий уровень шума как в условиях высокого вакуума, так и в условиях интенсивного излучения.

Прочная конструкция обеспечивает стабильную работу при длительном воздействии высокоэнергетических фотонов, а отсутствие окна исключает потери на поглощение и позволяет осуществлять прямое взаимодействие фотонов с активной поверхностью. Благодаря доказанной надежности в научных и промышленных приложениях с высоким уровнем радиации, SXUV100 обеспечивает точность и долговременную стабильность, необходимые для критически важных измерительных систем. Оптодиод имеет строгий контроль качества и низкий уровень темнового тока, что еще больше повышает его ценность для разработчиков систем и исследователей.

Характеристики
Широкий спектральный диапазон: от 1 нм до 200 нм
Активная область 10 мм x 10 мм для высокочувствительного покрытия
Конфигурация без окна для прямого поглощения

Низкий темновый ток, высокое сопротивление шунта
Оптимизирован для вакуумной среды
Применение
Диагностика синхротронных линий
Спектроскопия EUV и VUV
Мониторинг и диагностика плазмы
Системы полупроводниковой литографии
Вакуумное ультрафиолетовое зондирование
Передовое исследовательское оборудование
Метрология и контроль EUV